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氬離子拋光機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域簡介

前面我們分別簡單介紹了氬離子拋光機(jī)的原理和操作流程。氬離子拋光機(jī)在石油地質(zhì)、金屬材料加工、半導(dǎo)體、能源電池材料領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用，下面我們來逐一介紹：

1.石油地質(zhì)領(lǐng)域：

鄒才能院士于 2011 年利用場發(fā)射掃描電鏡首次在中國油氣儲層中發(fā)現(xiàn)納米孔隙的存在，揭開了國內(nèi)對于頁巖中納米級微孔隙研究的序幕，而氬離子拋光技術(shù)能夠進(jìn)一步揭示頁巖內(nèi)部納米級孔隙的真實形貌。為研究頁巖氣的成藏機(jī)理，運移規(guī)律，以及為將來的勘探開發(fā)提供可靠的依據(jù)。

頁巖氬離子拋光前后表面形貌對比

2.金屬材料加工領(lǐng)域：

平面拋光冷軋銅形貌：a)無處理銅75倍SE.b)無處理銅1600BSE.

c)350℃退火銅75倍SE.d) 350℃退火銅650倍BSE

平拋樣品在處理之前已經(jīng)完成機(jī)械拋光。經(jīng)過離子拋光之后表面雜質(zhì)幾乎被完全去除，BSE下可以明顯觀察到板條狀組織（圖3b）和再結(jié)晶組織（不完全均勻的等軸晶）（圖3d）。

3.半導(dǎo)體領(lǐng)域：

氬離子拋光可用于芯片、LED等失效分析，以及納米量子電子器件、亞波長光學(xué)結(jié)構(gòu)，表面等離激元器件等應(yīng)用的微納加工。

4.能源電池材料領(lǐng)域：

使用CP切割＋掃描電鏡來研究電極粉末材料、電池循環(huán)后的極片、隔膜材料、電池（薄膜電池或固態(tài)電池）截面的微觀結(jié)構(gòu)和元素組成等，對于了解電池及其材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)、反應(yīng)機(jī)理、失效機(jī)制等具有重大意義。

以上列舉的是氬離子拋光比較常用的幾個應(yīng)用方向，但氬離子拋光仍有很多未知的應(yīng)用領(lǐng)域等待著我們?nèi)ヌ剿?，相信屆時會為科研與社會生產(chǎn)生活帶來更大的突破與便利。

冠德科技研發(fā)的ArNanoFab 100氬離子拋光機(jī)，經(jīng)過長期的測試表明，已經(jīng)可以全自動連續(xù)處理樣品，并且制樣結(jié)果完全能滿足高分辨下的后續(xù)觀察與實驗，具備成熟的拋光制樣能力，已經(jīng)達(dá)到國外尖端氬離子拋光技術(shù)水平，并且相較于國外設(shè)備，ArNanoFab 100價格更具優(yōu)勢，今后在實驗室部署也將獲得更大的發(fā)展，這有助于推動氬離子拋光應(yīng)用得到更廣泛的普及。

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